管理番号 | 新品 :20384514224 | メーカー | エステック | 発売日 | 2024-11-28 | 定価 | 142,296円 |
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【画像はイメージです】【納期について】本商品の納期は都度確認が必要な製品となっております。長納期となる場合がございますので、ご注文前にお問い合わせください。お問合せがなく、発送に7営業日以上の納期がかかる場合は、別途ご相談のメールを送信させていただきます。マスフローコントローラ SEC-E50の特長微小流量から大流量まで対応したべーシックモデル±1.0%フルスケール以内の高精度、流量設定値まで1秒以内の高速応答オートゼロアジャスト機能搭載で高い信頼性対応ガス種:非腐食性ガスフルスケール流量(N2):20~30SLM流量制御範囲:2~100%F.S.流量制度:±1%F.S.使用環境温度:5~50(精度保証15~35)応答性:1秒以内(T98)直線性:±0.5%F.S.再現性:±0.2%F.S.動作差圧:50~300kPa(10SCCM~5SLM)(d)、100~300kPa(10~30SLM)(d)外部リークレート:1×10-10Pa・m3/s(He)以下流量設定信号:0.1~5VDC/2~100%F.S.流量出力信号:0~5VDC(0~100%F.S.)駆動電源:+15VDC ±5% 50mA、-15VDC ±5% 200mA(3.9VA)接ガス部材質:SUS316、フッ素ゴム、PTFE、磁性ステンレス標準継手:1/4Swagelok、VCR※専用電源ユニット(PE-D20)、接続ケーブル(SC-EDH-1M,2M,3M,5M,10M)も別途ご用意がございます※検査成績書・校正証明書・トレーサビリティ体系図等が必要な場合は別途有償で発行可能。お問合せ下さい※ご注文時にガス種・流量レンジ・接続継手を必ずご指定下さい